Hernandez Muńoz, Maria Jesus maria.jesus.hernandez@uam.es
Actividades
- Artículos 30
- Libros 0
- Capítulos de libro 1
- Congresos 19
- Documentos de trabajo 0
- Informes técnicos 0
- Proyectos de investigación 11
- Tesis dirigidas 1
- Patentes o licencias de software 0
KINETICS AND COMPOSITIONAL DEPENDENCE ON THE MICROWAVE-POWER AND SIH4/N2 FLOW RATIO OF SILICON-NITRIDE DEPOSITED BY ELECTRON-CYCLOTRON-RESONANCE PLASMAS
- Hernandez, MJ
- Garrido, J
- Martinez, J
- Piqueras Piqueras, Juan
Journal Of The Electrochemical Society (p. 3234-3237) - 1/1/1994
10.1149/1.2059309 Ver en origen
- ISSN 00134651
SILICON DIOXIDE DEPOSITION BY ELECTRON-CYCLOTRON-RESONANCE PLASMA - KINETIC AND ELLIPSOMETRIC STUDIES
- Hernandez, MJ
- Garrido, J
- Piqueras, J
Journal Of Vacuum Science & Technology b (p. 581-584) - 1/1/1994
10.1116/1.587393 Ver en origen
- ISSN 10711023
ELECTRON-CYCLOTRON-RESONANCE PLASMA DEPOSITION AS A PROMISING TECHNIQUE FOR LOW-TEMPERATURE HARD COATINGS
- Hernandez, MJ
- Gomez, FJ
- Garrido, J
- Piqueras, J
- Gomezaleixandre, C
Vacuum (p. 1023-1025) - 1/1/1994
10.1016/0042-207x(94)90012-4 Ver en origen
- ISSN 0042207X
- iMarina
- iMarina
Electrical properties of ECR plasma deposited SiO2: effect of the oxigen to silane flow ratio
- Hernandez, MJ
- Garrido, J
- Martinez, J
- Piqueras, J;
Semiconductor Science And Technology (p. 422-426) - 1/3/1996
10.1088/0268-1242/11/3/023 Ver en origen
- ISSN 13616641
Compositional and electrical properties of ECR-CVD silicon oxynitrides
- Hernandez, MJ
- Garrido, J
- Martinez, J
- Piqueras Piqueras, Juan
Semiconductor Science And Technology (p. 927-932) - 1/7/1997
10.1088/0268-1242/12/7/027 Ver en origen
- ISSN 13616641
Kinetic and electrical characterization of thin silicon oxide films obtained by electron cyclotron resonance plasma
- Hernandez, MJ
- Cervera, M
- Garrido, J
- Martinez, J
- Piqueras Piqueras, Juan
Journal Of Materials Science-Materials In Electronics (p. 393-398) - 1/1/1999
10.1023/a:1008985125423 Ver en origen
- ISSN 09574522
- iMarina
- iMarina
Nitrogen incorporation in amorphous SiCN layers prepared from electron cyclotron resonance plasmas
- Gomez Arribas, Fco Javier
- Piqueras Piqueras, Juan
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
- Barbadillo, L
- Gomez, FJ
- Hernandez, MJ
Applied Physics A-Materials Science & Processing (p. 603-607) - 1/5/1999
10.1007/s003390050948 Ver en origen
- ISSN 14320630
Amorphous SixCyN layers prepared from electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition (ECR-PECVD)
- Barbadillo, L
- Hernandez, MJ
- Cervera, M
- Piqueras, J
Boletin De La Sociedad Espanola De Ceramica Y Vidrio (p. 453-457) - 1/1/2000
10.3989/cyv.2000.v39.i4.797 Ver en origen
- ISSN 03663175
Low temperature electron cyclotron resonance plasma technique for low loss integrated optics
- Pernas Martino, Pablo Luis
- Ruiz, Eduardo
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
- Garrido Salas, Javier
- Garcia Carretero, Basilio Javier
- Castaño Palazon, Jose Luis
- Requejo, JM
- Solis, J.
- Serna, R.
- Alfonso, C.N.
- Piqueras Piqueras, Juan
Microelectronic Engineering (p. 407-410) - 1/1/2000
10.1016/s0167-9317(00)00344-0 Ver en origen
- ISSN 01679317
- iMarina
- iMarina
Optical properties of Er and Yb co-doped lithium niobate waveguides
- Cantelar Alcaide, Eugenio Francisco
- Nevado Pérez, Rubén
- Martin, Guillermo
- Sanz-García, Juan Antonio
- Lifante Pedrola, Gines
- Cusso Perez, Fernando
- Hernandez, MJ
- Pernas Martino, Pablo Luis
Journal Of Luminescence (p. 1096-1098) - 1/1/2000
10.1016/s0022-2313(99)00553-0 Ver en origen
- ISSN 00222313
- iMarina
- iMarina
Este/a investigador/a no tiene libros.
Analysis of plasmonic structures by spectroscopic ellipsometry
- Pau, J.L.
- Garcia Marin, A.
- Hernández Muñoz, M.J.
- Cervera Goy, M.
- Piqueras, J.
Analysis Of Plasmonic Structures By Spectroscopic Ellipsometry (p. 208-239) - 1/5/2016
10.4018/978-1-5225-0066-7.ch008 Ver en origen
- ISBN 9781522500674
Channel Waveguides in Er/Yb co-doped LiNbO3 by Zn diffusion for optical amplifiers in the 1.55 I'm region
- Pernas, PL
- Hernandez, MJ
- Garrido, J
- Piqueras, J
- Moran, C
- Ruiz, E
- Nevado, R
- Cantelar, E
- Cusso, F
- Lifante, G
Ecio''99: 9th European Conference On Integrated Optics And Technical Exhibition (p. 147-150) - 13/4/1999
- iMarina
Low Temperature Electron Cyclotron Resonance Plasma Technique for Low Loss Integrated Optical Devices
- Pernas Martino, Pablo Luis
- Garcia Carretero, Basilio Javier
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
- Castaño Palazon, Jose Luis
- Garrido Salas, Javier
- Piqueras Piqueras, Juan
21/9/1999
- iMarina
Surface silicon modification by N and C high dose implantation processes
- Cervera Goy, Manuel
International Conference On Mass And Charge Transport In Inorganic Materials: Fundamentals To Devices (p. 469-476) - 28/5/2000
- iMarina
Boron nitride synthesis by B+, C+ and N+ implantation in Silicon
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
- Cervera Goy, Manuel
- Piqueras Piqueras, Juan
1/2/2001
- iMarina
Mécanismes de croissance de SiC/Si(111) par CVD
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
1/5/2001
- iMarina
Low-energy carbon and nitrogen ion implantation in silicon
- Piqueras Piqueras, Juan
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
- Cervera Goy, Manuel
- Barbadillo, L
- Hernandez, MJ
- Cervera, M
- Rodriguez, P
- Munoz-Yague, A
Journal Of Vacuum Science & Technology b (p. 1124-1132) - 1/7/2001
10.1116/1.1381068 Ver en origen
- ISSN 10711023
Transmission electron microscopy study of ultra-thin SiC layers obtained by rapid thermal carbonization of Si wafers
- Piqueras Piqueras, Juan
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
- Morales, FM
- Molina, SI
- Araujo, D
- Cimalla, V
- Pezoldt, J
- Barbadillo, L
- Hernandez, MJ
Physica Status Solidi A-Applications And Materials Science (p. 116-121) - 1/1/2003
10.1002/pssa.200306278 Ver en origen
- ISSN 00318965
ECR-PECVD SiCN deposition on silicon substrates
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus
- Cervera Goy, Manuel
- Piqueras Piqueras, Juan
1/2/2003
- iMarina
Crystalline inclusions formed in C+N+BF2 coimplanted on silicon (111)
- Ponce A
- Morales F
- Molina S
- Barbadillo L
- Cervera M
- Hernández M
- Rodríguez P
- Piqueras J
Microchimica Acta (p. 165-169) - 1/1/2004
10.1007/s00604-003-0147-5 Ver en origen
- ISSN 00263672
- iMarina
- iMarina
Low temperature ECR-PECVD microcrystalline SiC growth by pulsed gas flows
- Hernádez MJ
- Cervera M
- Piqueras J
- Del Caño T
- Jiménez J
Materials Science Forum (p. 309-312) - 1/1/2004
10.4028/www.scientific.net/msf.457-460.309 Ver en origen
- ISSN 02555476
- iMarina
- iMarina
Este/a investigador/a no tiene documentos de trabajo.
Este/a investigador/a no tiene informes técnicos.
Realización de dispositivos FET con puerta dieléctrica de oxinitruro de silicio para aplicaciones en circuitos de memoria.
- Hernández Muñoz, Mª Jesus (Investigador/a)
- Martinez Rodriguez, Angel Javier (Investigador/a)
- Garrido Salas, Javier (Investigador principal (IP))
Ejecución: 01-07-1995 - 01-07-1998
- iMarina
Transistores de GaN para microondas: aleaciones de SiC y SiCN depositadas por plasma ECR como substratos para crecimiento de GaN
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
Ejecución: 01-01-1998 - 31-12-2001
Tipo: Nacional
Importe financiado: 9790000,00 Euros.
- iMarina
Development and application of new carbon nitride coatings in cutting tools (CARBON NITRIDE COATINGS)
- Morant Zacares, Carmen (Investigador/a)
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
Ejecución: 01-10-1998 - 30-09-2001
Tipo: Europeo
- iMarina
Síntesis y caracterización de SiCN y BCN para aplicaciones optoelectrónicas
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
Ejecución: 01-01-2002 - 31-12-2005
- iMarina
Nuevos enfoces para el crecimiento de nanohilos de SiGe modulados en composición orientados a nuevos nanodispositivos.
- Piqueras Piqueras, Juan (Investigador/a)
- Eduardo Ruiz Martin (Investigador/a)
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador principal (IP))
Ejecución: 10-01-2007 - 31-12-2010
- iMarina
Nuevas tecnologías para el desarrollo de plataformas sensoras y biosensoras avanzadas.
- Pingarrón, José Manuel (Investigador principal (IP))
- Garcia Mendiola, Tania (Investigador/a)
- Lorenzo Abad, Encarnacion (Investigador principal (IP))
- del Pozo Vazquez, Maria (Investigador/a)
- Parra Alfambra, Ana Maria (Investigador/a)
- Petit Dominguez, Maria Dolores (Investigador/a)
- Revenga Parra, Monica (Investigador/a)
- Pariente Alonso, Felix (Investigador/a)
- Casero Junquera, Maria Elena (Investigador/a)
- Alonso Fuente, Concepcion (Investigador/a)
- Laura Mora Martinez (Investigador/a)
- Blanco Gil, Elias (Investigador/a)
- Carmen Sagrario Hernandez Dominguez (Investigador/a)
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
- Quintana Mani, Maria del Carmen (Investigador/a)
- Cervera Goy, Manuel (Investigador/a)
- Pau Vizcaino, Jose Luis (Investigador/a)
- Castaño Palazon, Jose Luis (Investigador/a)
- Eduardo Ruiz Martin (Investigador/a)
- Garcia Carretero, Basilio Javier (Investigador/a)
- Braña de Cal, Alejandro Francisco (Investigador principal (IP))
- Piqueras Piqueras, Juan (Investigador principal (IP))
- Hernandez Hernandez, Pedro (Investigador principal (IP))
Ejecución: 01-01-2010 - 31-12-2013
- iMarina
Síntesis de nanohilos de ZnO y Ga(As, N) para detección de alta sensibilidad en los rangos UV e IR
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
- Cervera Goy, Manuel (Investigador/a)
- Piqueras Piqueras, Juan (Investigador/a)
- Eduardo Ruiz Martin (Investigador/a)
- Garcia Carretero, Basilio Javier (Investigador/a)
- Pau Vizcaino, Jose Luis (Investigador principal (IP))
Ejecución: 01-01-2011 - 31-12-2013
- iMarina
Células solares multibanda a partir de aleaciones con elevado desajuste de red
- Garcia Carretero, Basilio Javier (Investigador principal (IP))
- Braña de Cal, Alejandro Francisco (Investigador/a)
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
- Cervera Goy, Manuel (Investigador/a)
Ejecución: 01-01-2014 - 31-12-2015
- iMarina
Nuevas estrategias nanotecnológicas para el diseño y construcción de plataformas (bio)sensoras avanzadas integrables en instrumentación miniaturizada para aplicaciones clínicas y agroalimentarias
- Pingarrón, José Manuel (Investigador principal (IP))
- Garcia Mendiola, Tania (Colaborador/a)
- Abad Lorenzo, Encarnación (Investigador principal (IP))
- Hernandez Hernandez, Pedro (Investigador/a)
- Blanco Gil, Elias (Investigador/a)
- Quintana Mani, Maria del Carmen (Investigador principal (IP))
- Pariente Alonso, Felix (Investigador/a)
- Casero Junquera, Maria Elena (Investigador/a)
- Petit Dominguez, Maria Dolores (Investigador/a)
- Abad Pastor, Jose Maria (Investigador/a)
- Piqueras Piqueras, Juan (Investigador principal (IP))
- Pau Vizcaino, Jose Luis (Investigador/a)
- Castaño Palazon, Jose Luis (Investigador/a)
- Garcia Carretero, Basilio Javier (Investigador/a)
- Lopez Martinez, Nair (Investigador/a)
- Cervera Goy, Manuel (Investigador/a)
- Braña de Cal, Alejandro Francisco (Investigador/a)
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador principal (IP))
Ejecución: 01-10-2014 - 30-09-2018
Importe financiado: 704720,00 Euros.
- iMarina
Integración de Semiconductores III-V sobre SI para aplicaciones electrónicas y fotovoltaicas
- Cervera Goy, Manuel (Investigador/a)
- Garcia Carretero, Basilio Javier (Investigador principal (IP))
- Lopez Martinez, Nair (Investigador/a)
- Braña de Cal, Alejandro Francisco (Investigador/a)
- Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
Ejecución: 30-12-2016 - 29-12-2019
Tipo: Nacional
Importe financiado: 205700,00 Euros.
- iMarina
Estudio de películas aislantes de silicio, oxígeno y nitrógeno depositadas por plasma ECR-CVD
- María Jesús Hernández Muñoz (Director)
- Garrido Salas, Javier (Autor o Coautor) Doctorando: María Jesús Hernández Muñoz
1/1/1998
- iMarina
Este/a investigador/a no tiene patentes o licencias de software.
Grupos de investigación
-
Electrónica Y Semiconductores
Rol: Miembro
Perfiles de investigador/a
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