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Perfil en el portal institucional

Hernandez Muńoz, Maria Jesus maria.jesus.hernandez@uam.es

Física aplicada / Universidad Autónoma de Madrid

Actividades

KINETICS AND COMPOSITIONAL DEPENDENCE ON THE MICROWAVE-POWER AND SIH4/N2 FLOW RATIO OF SILICON-NITRIDE DEPOSITED BY ELECTRON-CYCLOTRON-RESONANCE PLASMAS

  • Hernandez, MJ
  • Garrido, J
  • Martinez, J
  • Piqueras Piqueras, Juan

Journal Of The Electrochemical Society (p. 3234-3237) - 1/1/1994

10.1149/1.2059309 Ver en origen

  • ISSN 00134651

SILICON DIOXIDE DEPOSITION BY ELECTRON-CYCLOTRON-RESONANCE PLASMA - KINETIC AND ELLIPSOMETRIC STUDIES

  • Hernandez, MJ
  • Garrido, J
  • Piqueras, J

Journal Of Vacuum Science & Technology b (p. 581-584) - 1/1/1994

10.1116/1.587393 Ver en origen

  • ISSN 10711023

ELECTRON-CYCLOTRON-RESONANCE PLASMA DEPOSITION AS A PROMISING TECHNIQUE FOR LOW-TEMPERATURE HARD COATINGS

  • Hernandez, MJ
  • Gomez, FJ
  • Garrido, J
  • Piqueras, J
  • Gomezaleixandre, C

Vacuum (p. 1023-1025) - 1/1/1994

10.1016/0042-207x(94)90012-4 Ver en origen

  • ISSN 0042207X

Electrical properties of ECR plasma deposited SiO2: effect of the oxigen to silane flow ratio

  • Hernandez, MJ
  • Garrido, J
  • Martinez, J
  • Piqueras, J;

Semiconductor Science And Technology (p. 422-426) - 1/3/1996

10.1088/0268-1242/11/3/023 Ver en origen

  • ISSN 13616641

Compositional and electrical properties of ECR-CVD silicon oxynitrides

  • Hernandez, MJ
  • Garrido, J
  • Martinez, J
  • Piqueras Piqueras, Juan

Semiconductor Science And Technology (p. 927-932) - 1/7/1997

10.1088/0268-1242/12/7/027 Ver en origen

  • ISSN 13616641

Kinetic and electrical characterization of thin silicon oxide films obtained by electron cyclotron resonance plasma

  • Hernandez, MJ
  • Cervera, M
  • Garrido, J
  • Martinez, J
  • Piqueras Piqueras, Juan

Journal Of Materials Science-Materials In Electronics (p. 393-398) - 1/1/1999

10.1023/a:1008985125423 Ver en origen

  • ISSN 09574522

Nitrogen incorporation in amorphous SiCN layers prepared from electron cyclotron resonance plasmas

  • Gomez Arribas, Fco Javier
  • Piqueras Piqueras, Juan
  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus
  • Barbadillo, L
  • Gomez, FJ
  • Hernandez, MJ

Applied Physics A-Materials Science & Processing (p. 603-607) - 1/5/1999

10.1007/s003390050948 Ver en origen

  • ISSN 14320630

Amorphous SixCyN layers prepared from electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition (ECR-PECVD)

  • Barbadillo, L
  • Hernandez, MJ
  • Cervera, M
  • Piqueras, J

Boletin De La Sociedad Espanola De Ceramica Y Vidrio (p. 453-457) - 1/1/2000

10.3989/cyv.2000.v39.i4.797 Ver en origen

  • ISSN 03663175

Low temperature electron cyclotron resonance plasma technique for low loss integrated optics

  • Pernas Martino, Pablo Luis
  • Ruiz, Eduardo
  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus
  • Garrido Salas, Javier
  • Garcia Carretero, Basilio Javier
  • Castaño Palazon, Jose Luis
  • Requejo, JM
  • Solis, J.
  • Serna, R.
  • Alfonso, C.N.
  • Piqueras Piqueras, Juan
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Microelectronic Engineering (p. 407-410) - 1/1/2000

10.1016/s0167-9317(00)00344-0 Ver en origen

  • ISSN 01679317

Optical properties of Er and Yb co-doped lithium niobate waveguides

  • Cantelar Alcaide, Eugenio Francisco
  • Nevado Pérez, Rubén
  • Martin, Guillermo
  • Sanz-García, Juan Antonio
  • Lifante Pedrola, Gines
  • Cusso Perez, Fernando
  • Hernandez, MJ
  • Pernas Martino, Pablo Luis
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Journal Of Luminescence (p. 1096-1098) - 1/1/2000

10.1016/s0022-2313(99)00553-0 Ver en origen

  • ISSN 00222313

Este/a investigador/a no tiene libros.

Analysis of plasmonic structures by spectroscopic ellipsometry

  • Pau, J.L.
  • Garcia Marin, A.
  • Hernández Muñoz, M.J.
  • Cervera Goy, M.
  • Piqueras, J.

Analysis Of Plasmonic Structures By Spectroscopic Ellipsometry (p. 208-239) - 1/5/2016

10.4018/978-1-5225-0066-7.ch008 Ver en origen

  • ISBN 9781522500674

Channel Waveguides in Er/Yb co-doped LiNbO3 by Zn diffusion for optical amplifiers in the 1.55 I'm region

  • Pernas, PL
  • Hernandez, MJ
  • Garrido, J
  • Piqueras, J
  • Moran, C
  • Ruiz, E
  • Nevado, R
  • Cantelar, E
  • Cusso, F
  • Lifante, G
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Ecio''99: 9th European Conference On Integrated Optics And Technical Exhibition (p. 147-150) - 13/4/1999

  • iMarina

Low Temperature Electron Cyclotron Resonance Plasma Technique for Low Loss Integrated Optical Devices

  • Pernas Martino, Pablo Luis
  • Garcia Carretero, Basilio Javier
  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus
  • Castaño Palazon, Jose Luis
  • Garrido Salas, Javier
  • Piqueras Piqueras, Juan

21/9/1999

  • iMarina

Surface silicon modification by N and C high dose implantation processes

  • Cervera Goy, Manuel

International Conference On Mass And Charge Transport In Inorganic Materials: Fundamentals To Devices (p. 469-476) - 28/5/2000

  • iMarina

Boron nitride synthesis by B+, C+ and N+ implantation in Silicon

  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus
  • Cervera Goy, Manuel
  • Piqueras Piqueras, Juan

1/2/2001

  • iMarina

Mécanismes de croissance de SiC/Si(111) par CVD

  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus

1/5/2001

  • iMarina

Low-energy carbon and nitrogen ion implantation in silicon

  • Piqueras Piqueras, Juan
  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus
  • Cervera Goy, Manuel
  • Barbadillo, L
  • Hernandez, MJ
  • Cervera, M
  • Rodriguez, P
  • Munoz-Yague, A
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Journal Of Vacuum Science & Technology b (p. 1124-1132) - 1/7/2001

10.1116/1.1381068 Ver en origen

  • ISSN 10711023

Transmission electron microscopy study of ultra-thin SiC layers obtained by rapid thermal carbonization of Si wafers

  • Piqueras Piqueras, Juan
  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus
  • Morales, FM
  • Molina, SI
  • Araujo, D
  • Cimalla, V
  • Pezoldt, J
  • Barbadillo, L
  • Hernandez, MJ
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Physica Status Solidi A-Applications And Materials Science (p. 116-121) - 1/1/2003

10.1002/pssa.200306278 Ver en origen

  • ISSN 00318965

ECR-PECVD SiCN deposition on silicon substrates

  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus
  • Cervera Goy, Manuel
  • Piqueras Piqueras, Juan

1/2/2003

  • iMarina

Crystalline inclusions formed in C+N+BF2 coimplanted on silicon (111)

  • Ponce A
  • Morales F
  • Molina S
  • Barbadillo L
  • Cervera M
  • Hernández M
  • Rodríguez P
  • Piqueras J
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Microchimica Acta (p. 165-169) - 1/1/2004

10.1007/s00604-003-0147-5 Ver en origen

  • ISSN 00263672

Low temperature ECR-PECVD microcrystalline SiC growth by pulsed gas flows

  • Hernádez MJ
  • Cervera M
  • Piqueras J
  • Del Caño T
  • Jiménez J

Materials Science Forum (p. 309-312) - 1/1/2004

10.4028/www.scientific.net/msf.457-460.309 Ver en origen

  • ISSN 02555476

Este/a investigador/a no tiene documentos de trabajo.

Este/a investigador/a no tiene informes técnicos.

Ingeniería cuántica para la integración de células solares iii-v sobre silicio

  • Hernandez Muñoz, Maria Jesus (Investigador/a)
  • PAMPILLON ARCE, MARIA ANGELA (Investigador/a)
  • Kaganer, Vladimir (Investigador/a)
  • Volkov, Roman (Investigador/a)
  • Borgardt, Nikolai (Investigador/a)
  • VALLÉS VILA, TOMÁS (Investigador/a)
  • RODRÍGUEZ MARTÍ, PEDRO (Investigador/a)
  • Brandt, Oliver (Investigador/a)
  • Lähnemann, Jonas (Investigador/a)
  • Cervera Goy, Manuel (Investigador/a)
  • Garcia Carretero, Basilio Javier (Investigador principal (IP))
  • FERNANDEZ GARRIDO, SERGIO (Investigador principal (IP))
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Ejecución: 01-09-2021 - 31-08-2025

Tipo: Nacional

Importe financiado: 166980,00 Euros.

  • iMarina

Estudio de películas aislantes de silicio, oxígeno y nitrógeno depositadas por plasma ECR-CVD

  • María Jesús Hernández Muñoz (Director)
  • Garrido Salas, Javier (Autor o Coautor) Doctorando: María Jesús Hernández Muñoz

1/1/1998

  • iMarina

Este/a investigador/a no tiene patentes o licencias de software.

Última actualización de los datos: 18/03/24 23:49