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Iborra Grau, Enrique enrique.iborra@upm.es

INGENIERÍA ELECTRÓNICA / Universidad Politécnica de Madrid

Actividades

EFFECTS OF RESIDUAL GASES AND RF POWER ON ITO RF-SPUTTERED THIN-FILMS

  • CLEMENT, M
  • SANTAMARIA, J
  • IBORRA, E
  • GONZALEZDIAZ, G;

Vacuum (p. 447-449) - 1/1/1987

10.1016/0042-207x(87)90333-2 Ver en origen

  • ISSN 0042207X

SPUTTERING PROCESS OF CU2S IN AN AR ATMOSPHERE

  • SANTAMARIA, J
  • IBORRA, E
  • MARTIL, I
  • GONZALEZDIAZ, G
  • SANCHEZQUESADA, F;

Vacuum (p. 433-436) - 1/1/1987

10.1016/0042-207x(87)90328-9 Ver en origen

  • ISSN 0042207X

THIN CUXS SPUTTERED FILMS IN AR/H2 ATMOSPHERES

  • IBORRA, E
  • SANTAMARIA, J
  • MARTIL, I
  • GONZALEZDIAZ, G
  • SANCHEZQUESADA, F;

Vacuum (p. 437-439) - 1/1/1987

10.1016/0042-207x(87)90329-0 Ver en origen

  • ISSN 0042207X

Assessment of the shear acoustic velocities in the different materials composing a high frequency solidly mounted resonator

  • DeMiguel-Ramos, M
  • Mirea, T
  • Olivares, J
  • Clement, M
  • Sangrador, J
  • Iborra, E

Ultrasonics (p. 195-199) - 1/9/2015

10.1016/j.ultras.2015.05.017 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

On the effectiveness of lateral excitation of shear modes in AlN layered resonators

  • Clement, M
  • Iborra, E
  • Olivares, J
  • DeMiguel-Ramos, M
  • Mirea, T
  • Sangrador, J

Ultrasonics (p. 1504-1508) - 1/1/2014

10.1016/j.ultras.2014.04.014 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

SAW characteristics of AlN films sputtered on silicon substrates

  • Clement, M
  • Vergara, L
  • Sangrador, J
  • Iborra, E
  • Sanz-Hervás, A

Ultrasonics (p. 403-407) - 1/1/2004

10.1016/j.ultras.2004.01.034 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

Effects of compensating the temperature coefficient of frequency with the acoustic reflector layers on the overall performance of solidly mounted resonators

  • Munir, J
  • Mirea, T
  • DeMiguel-Ramos, M
  • Saeed, MA
  • Bin Shaari, A
  • Iborra, E

Ultrasonics (p. 153-160) - 1/2/2017

10.1016/j.ultras.2016.10.010 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

Optimized tilted c-axis AlN films for improved operation of shear mode resonators

  • DeMiguel-Ramos, M
  • Mirea, T
  • Clement, M
  • Olivares, J
  • Sangrador, J
  • Iborra, E

Thin Solid Films (p. 219-223) - 1/9/2015

10.1016/j.tsf.2015.08.010 Ver en origen

  • ISSN 00406090

AlN films sputtered on iridium electrodes for bulk acoustic wave resonators

  • Clement, M
  • Olivares, J
  • Iborra, E
  • González-Castilla, S
  • Rimmer, N
  • Rastogi, A

Thin Solid Films (p. 4673-4678) - 30/6/2009

10.1016/j.tsf.2009.02.139 Ver en origen

  • ISSN 00406090

Effect of rapid thermal annealing on the crystal quality and the piezoelectric response of polycrystalline AlN films

  • Vergara, L
  • Olivares, J
  • Iborra, E
  • Clement, M
  • Sanz-Hervás, A
  • Sangrador, J

Thin Solid Films (p. 1814-1818) - 5/12/2006

10.1016/j.tsf.2006.07.002 Ver en origen

  • ISSN 00406090

Este/a investigador/a no tiene libros.

Este/a investigador/a no tiene capítulos de libro.

Reactive sputtering of AlScN thin Ulms with variable Sc content on 200 mm wafers

  • Valeriy Felmetsger
  • MIREA, TEONA
  • Clement Lorenzo, Marta
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

2018 European Frequency And Time Forum, Eftf 2018 (p. 13-16) - 9/7/2018

10.1109/eftf.2018.8408987 Ver en origen

Direct integration of CNT forests on solidly mounted resonators and their influence on device performance

  • MIREA, TEONA
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

2017 Joint Conference Of The European Frequency And Time Forum And Ieee International Frequency Control Symposium, Eftf/Ifc 2017 - Proceedings (p. 353-356) - 27/10/2017

10.1109/fcs.2017.8088890 Ver en origen

AlN-solidly mounted resonators sustaining up to 1000°C with TCF compensation

  • José Luis Olivera
  • MIREA, TEONA
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

2017 Joint Conference Of The European Frequency And Time Forum And Ieee International Frequency Control Symposium, Eftf/Ifc 2017 - Proceedings (p. 519-522) - 27/10/2017

10.1109/fcs.2017.8088947 Ver en origen

Integration of multilayered graphene on AlN based resonators as a functionalization platform for biosensors

  • Lorena Gordillo-Dagalier
  • José Miguel Escolano
  • José Luis Olivera
  • MIREA, TEONA
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE
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2017 Joint Conference Of The European Frequency And Time Forum And Ieee International Frequency Control Symposium, Eftf/Ifc 2017 - Proceedings (p. 662-665) - 27/10/2017

10.1109/fcs.2017.8088995 Ver en origen

Substrate texturing for homogeneous deposition of tilted c-axis AlN films for shear mode operation

  • María Sierra Zapata
  • MIREA, TEONA
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

2017 Joint Conference Of The European Frequency And Time Forum And Ieee International Frequency Control Symposium (Eftf/Ifc) (p. 561-564) - 27/10/2017

10.1109/fcs.2017.8088957 Ver en origen

S0 Lamb wave resonators for in-liquid sensing: Promising alternative to shear bulk acoustic wave devices

  • Mirea, T
  • Iborra, E
  • Yantchev, V

2016 European Frequency And Time Forum, Eftf 2016 (p. 1-4) - 23/5/2016

10.1109/eftf.2016.7477807 Ver en origen

Transparent thin film bulk acoustic wave resonators

  • Mario DeMiguel-Ramos
  • Girish Rughoobur
  • Andrew Flewitt
  • MIREA, TEONA
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE
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2016 European Frequency And Time Forum, Eftf 2016 (p. 1-4) - 23/5/2016

10.1109/eftf.2016.7477830 Ver en origen

Influence of induced stress on AlN-solidly mounted resonators

  • Álvaro Delicado
  • MIREA, TEONA
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

2016 European Frequency And Time Forum, Eftf 2016 (p. 1-4) - 23/5/2016

10.1109/eftf.2016.7477834 Ver en origen

High coupling phononic SH-SAW resonators for inliquid operation

  • Yantchev, V
  • Jesorka, A
  • Mirea, T
  • Iborra, E

2016 European Frequency And Time Forum, Eftf 2016 (p. 1-4) - 23/5/2016

10.1109/eftf.2016.7477817 Ver en origen

Sputtered Al(1-x)ScxN thin films with high areal uniformity for mass production

  • Felmetsger, V
  • Mikhov, M
  • DeMiguel-Ramos, M
  • Clement, M
  • Olivares, J
  • Mirea, T
  • Iborra, E
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2015 Joint Conference Of The Ieee International Frequency Control Symposium And The European Frequency And Time Forum, Fcs 2015 - Proceedings (p. 117-120) - 29/6/2015

10.1109/fcs.2015.7138803 Ver en origen

Este/a investigador/a no tiene documentos de trabajo.

Este/a investigador/a no tiene informes técnicos.

THIN FILM BULK ACOSUTIC RESONATOR DEVELOPMENT

  • Jimena Olivares Roza (Investigador principal (IP))
  • MIREA, TEONA (Coordinador/a científico/a)

Ejecución: 01-05-2018 - 15-10-2020

Tipo: Interno

  • iMarina

Sensores gravimétricos de gases basados en resonadores electroacústicos de película delgada de AlN para aplicaciones en temperaturas extremas

  • MIREA, TEONA (Miembro del equipo de trabajo)
  • CARMONA CEJAS, JOSE MANUEL (Miembro del equipo de trabajo)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Investigador principal (IP))
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • MALO GOMEZ, JAVIER (Participante)
  • Clement Lorenzo, Marta (Participante)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Participante)
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Ejecución: 01-01-2018 - 30-09-2021

Tipo: Nacional

Importe financiado: 198440,00 Euros.

  • iMarina

CHARACTERIZATION OF SPUTTERED THIN FILMS OF AISCN

  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))
  • Clement Lorenzo, Marta (Investigador principal (IP))

Ejecución: 26-06-2017 - 16-09-2019

Tipo: Interno

  • iMarina

Materiales avanzados para biosensores basados en resonadores piezoeléctricos combinados con nanotubos de carbono y grafeno

  • ESCOLANO MOYANO, JOSE MIGUEL (Miembro del equipo de trabajo)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Miembro del equipo de trabajo)
  • MIREA, TEONA (Miembro del equipo de trabajo)
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))
  • Clement Lorenzo, Marta (Investigador principal (IP))
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Participante)
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • MALO GOMEZ, JAVIER (Participante)
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Ejecución: 01-01-2014 - 31-10-2017

Tipo: Nacional

Importe financiado: 180018,37 Euros.

  • iMarina

Plataforma Multiplexada para el Diagnóstico de Enfermedades Cardiovasculares

  • Enrique Iborra Grau (Investigador principal (IP))
  • GEDAY, MORTEN ANDREAS (Miembro de equipo)

Ejecución: 01-01-2014 - 31-12-2014

Tipo: Nacional

Importe financiado: 15000,00 Euros.

  • iMarina

Rapid Aptamer based diagnostics for bacterial meningitis

  • GEDAY, MORTEN ANDREAS (Investigador principal (IP))
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Participante)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Participante)
  • Clement Lorenzo, Marta (Participante)
  • OTON SANCHEZ, JOSE MANUEL (Participante)
  • ESCOLANO MOYANO, JOSE MIGUEL (Participante)
  • QUINTANA ARREGUI, PATXI XABIER (Participante)
  • PEDRAZA DÍAZ, SUSANA (Participante)
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Participante)
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Ejecución: 01-07-2012 - 31-12-2015

Tipo: Internacional

Importe financiado: 1062578,28 Euros.

  • iMarina

Materiales multifuncionales en película delgada para dispositivos piezoeléctricos avanzados (resonadores acústicos y sensores MEMS)

  • Marta Clement Lorenzo (Investigador principal (IP))
  • MIREA, TEONA (Investigador/a)

Ejecución: 01-01-2011 - 31-12-2014

Tipo: Nacional

Importe financiado: 242000,00 Euros.

  • iMarina

Yelmo

  • SANTAMARIA SANCHEZ-BARRIGA, JACOBO (Participante)
  • IZPURRA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • CLEMENTE LOZANO, MARTA (Participante)
  • SANGADOR GARCIA, JESUS (Participante)
  • MALO GOMEZ, JAVIER (Participante)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Participante)
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))
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Ejecución: 01-10-2007 - 30-09-2010

Tipo: Nacional

  • iMarina

TITULO REALIZACIÓN DE PROTOTIPOS DE GALGAS EXTENSIOMÉTRICAS INTEGRADAS EN BARRAS ESTABILIZADORAS DE AUTOMÓVIL MEDIANTE TECNOLOGÍA DE PELÍCULAS DELGADAS

  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Colaborador/a)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Investigador principal (IP))

Ejecución: 12-03-2013 - 31-12-2017

Tipo: Interno

  • iMarina

MOBILIS:Mixed SiP and SoC Integration of Power BAW Filters for Digital Wireless Transmissions

  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))

Ejecución: 01-01-2006 - 30-06-2009

Tipo: Internacional

  • iMarina

Thin film electroacoustic resonators for physical and chemical sensing

  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Director)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Director) Doctorando: Mirea, Teona

1/1/2017

  • iMarina

High sensitivity biosensors based on shear mode AIN resonators for in liquid operation

  • Clement Lorenzo, Marta (Director)
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Director) Doctorando: MIGUEL RAMOS, Mario de

1/1/2016

  • iMarina

Tecnologías de fabricación de microsistemas electromecánicos actuados piezoeléctricamente con nitruro de aluminio

  • Enrique Iborra Grau (Director) Doctorando: Sheila González Castilla

1/1/2009

  • iMarina

Películas delgadas de nitruro de aluminio depositadas por pulverización y su aplicación a dispositivos de ondas acústicas

  • Enrique Iborra Grau (Director) Doctorando: Lucía Vergara Herrero

1/11/2005

  • iMarina

Este/a investigador/a no tiene patentes o licencias de software.

Última actualización de los datos: 5/03/24 19:41