Clement Lorenzo, Marta marta.clement@upm.es

Actividades

EFFECTS OF RESIDUAL GASES AND RF POWER ON ITO RF-SPUTTERED THIN-FILMS

  • CLEMENT, M
  • SANTAMARIA, J
  • IBORRA, E
  • GONZALEZDIAZ, G;

Vacuum (p. 447-449) - 1/1/1987

10.1016/0042-207x(87)90333-2 Ver en origen

  • ISSN 0042207X

SAW characteristics of AlN films sputtered on silicon substrates

  • Clement, M
  • Vergara, L
  • Sangrador, J
  • Iborra, E
  • Sanz-Hervás, A

Ultrasonics (p. 403-407) - 1/1/2004

10.1016/j.ultras.2004.01.034 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

Assessment of the shear acoustic velocities in the different materials composing a high frequency solidly mounted resonator

  • DeMiguel-Ramos, M
  • Mirea, T
  • Olivares, J
  • Clement, M
  • Sangrador, J
  • Iborra, E

Ultrasonics (p. 195-199) - 1/9/2015

10.1016/j.ultras.2015.05.017 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

Analysis of spurious peaks at series resonance in solidly mounted resonators by combined BVD-Mason modelling

  • Lugo-Hernández, E
  • Mirea, T
  • Carmona, JM
  • Clement, M
  • Olivares, J
  • Collado, JC
  • Mateu, J
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Ultrasonics - 1/5/2023

10.1016/j.ultras.2023.106958 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

On the effectiveness of lateral excitation of shear modes in AlN layered resonators

  • Clement, M
  • Iborra, E
  • Olivares, J
  • DeMiguel-Ramos, M
  • Mirea, T
  • Sangrador, J

Ultrasonics (p. 1504-1508) - 1/1/2014

10.1016/j.ultras.2014.04.014 Ver en origen

  • ISSN 0041624X

Optimized tilted c-axis AlN films for improved operation of shear mode resonators

  • DeMiguel-Ramos, M
  • Mirea, T
  • Clement, M
  • Olivares, J
  • Sangrador, J
  • Iborra, E

Thin Solid Films (p. 219-223) - 1/9/2015

10.1016/j.tsf.2015.08.010 Ver en origen

  • ISSN 00406090

Effect of rapid thermal annealing on the crystal quality and the piezoelectric response of polycrystalline AlN films

  • Vergara, L
  • Olivares, J
  • Iborra, E
  • Clement, M
  • Sanz-Hervás, A
  • Sangrador, J

Thin Solid Films (p. 1814-1818) - 5/12/2006

10.1016/j.tsf.2006.07.002 Ver en origen

  • ISSN 00406090

Low-thickness high-quality aluminum nitride films for super high frequency solidly mounted resonators

  • Iborra, E
  • Clement, M
  • Capilla, J
  • Olivares, J
  • Felmetsger, V

Thin Solid Films (p. 3060-3063) - 31/1/2012

10.1016/j.tsf.2011.11.007 Ver en origen

  • ISSN 00406090

Porous silicon oxide sacrificial layers deposited by pulsed-direct current magnetron sputtering for microelectromechanical systems

  • Olivares, J
  • Clement, M
  • Gonzalez-Castilla, S
  • Vergara, L
  • Iborra, E
  • Sangrador, J

Thin Solid Films (p. 5128-5133) - 1/7/2010

10.1016/j.tsf.2010.03.013 Ver en origen

  • ISSN 00406090

AlN films sputtered on iridium electrodes for bulk acoustic wave resonators

  • Clement, M
  • Olivares, J
  • Iborra, E
  • González-Castilla, S
  • Rimmer, N
  • Rastogi, A

Thin Solid Films (p. 4673-4678) - 30/6/2009

10.1016/j.tsf.2009.02.139 Ver en origen

  • ISSN 00406090

Este/a investigador/a no tiene libros.

Este/a investigador/a no tiene capítulos de libro.

MICROACOUSTIC SENSORS WITH INTEGRATED CARBON NANOTUBES FOR HIGH VOC SENSITIVITY

  • Mirea, T
  • Olivares, J
  • Clement, M

Proceedings Of The 2019 20th International Conference On Solid-State Sensors, Actuators And Microsystems & Eurosensors Xxxiii (Transducers & Eurosensors Xxxiii) (p. 1.890-1.892) - 23/6/2019

10.1109/transducers.2019.8808317 Ver en origen

Frequency characterization of AlN piezoelectric resonators

  • SANGRADOR GARCIA, JESUS
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • MALO GOMEZ, JAVIER
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

Proceedings Of The 2007 Ieee International Frequency Control Symposium-Jointly With The 21st European Frequency And Time Forum, Vols 1-4 (p. 374-377) - 1/12/2007

10.1109/freq.2007.4319100 Ver en origen

Tunable mechanical resonator with aluminum nitride piezoelectric actuation

  • Olivares, J
  • Malo, J
  • González, S
  • Iborra, E
  • Izpura, I
  • Clement, M
  • Sanz-Hervás, A
  • Sánchez-Rojas, JL
  • Sanz, P
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Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering - 9/8/2006

10.1117/12.664444 Ver en origen

  • ISSN 0277786X

Ge and GeOx films as sacrificial layer for MEMS technology based on piezoelectric AIN: Etching and planarization processes

  • Sangrador, J
  • Olivares, J
  • Iborra, E
  • Vergara, L
  • Clement, M
  • Sanz-Hervás, A

Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering (p. 1-15) - 9/12/2005

10.1117/12.608244 Ver en origen

  • ISSN 0277786X

Sputtered polycrystalline AlN as a platform for biofunctionalized devices

  • U. Schmid
  • M. J. Oliver
  • J. L. Sánchez-Rojas
  • J. Hernando
  • A. Ababneh
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
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Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering (p. 1-10) - 14/9/2009

10.1117/12.821653 Ver en origen

  • ISSN 0277786X

Silicon oxide sacrificial layers deposited by pulsed-DC magnetron sputtering for MEMS applications

  • L. Vergara
  • L. Pulido
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering (p. 1-12) - 14/9/2009

10.1117/12.821485 Ver en origen

  • ISSN 0277786X

Simulation, fabrication and testing of aluminium nitride piezoelectric microbridges

  • Olivares, J
  • Clement, M
  • Iborra, E
  • Vergara, L
  • Sánchez-Rojas, JL
  • Vázquez, J
  • Sanz, P
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Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering (p. 16-26) - 9/12/2005

10.1117/12.608228 Ver en origen

  • ISSN 0277786X

Piezoelectric microresonators based on aluminim nitride for mass sensing applications

  • SANGRADOR GARCIA, JESUS
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • MALO GOMEZ, JAVIER
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE

Proceedings Of Ieee Sensors (p. 486-489) - 1/12/2008

10.1109/icsens.2008.4716483 Ver en origen

Direct comparison of the sensitivity of QCMs and AlN-based TFRs biosensors

  • Escolano, JM
  • Díaz-Durán, B
  • Olivares, J
  • Clement, M
  • Mirea, T
  • Iborra, E

Proceedia Engineering, Vol. 168 (p. 481-484) - 4/9/2016

10.1016/j.proeng.2016.11.136 Ver en origen

  • ISSN 18777058

Integration and Bio-functionalization of vertically aligned carbon nanotube forests on high frequency AlN gravimetric sensors

  • José Miguel Escolano
  • D. Megías
  • Bruno Marco Dufort
  • MIREA, TEONA
  • Clement Lorenzo, Marta
  • OLIVARES ROZA, JIMENA
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE
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Procedia Engineering: Proceedings Of 2017 Eurosensors (p. 537-541) - 3/9/2017

10.3390/proceedings1040537 Ver en origen

Este/a investigador/a no tiene documentos de trabajo.

Este/a investigador/a no tiene informes técnicos.

Smart Heaters: Smart Heaters

  • Patxi Xabier Quintana Arregui (Investigador principal (IP))
  • CAÑO GARCIA, MANUEL (Investigador/a)
  • PEREIRO GARCÍA, JAVIER (Investigador/a)
  • Clement Lorenzo, Marta (Investigador/a)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Investigador/a)
  • OTON SANCHEZ, JOSE MANUEL (Investigador/a)

Ejecución: 20-11-2021 - 30-06-2023

Tipo: Europeo

Importe financiado: 140000,00 Euros.

  • iMarina

Materiales para resonadores electro-acústicos y sensores para futuras aplicaciones sub-6GHz 5G

  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Investigador principal (IP))
  • Clement Lorenzo, Marta (Investigador principal (IP))
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • MALO GOMEZ, JAVIER (Participante)
  • MIREA, TEONA (Participante)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Miembro del equipo de trabajo)
  • CARMONA CEJAS, JOSE MANUEL (Miembro del equipo de trabajo)
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Ejecución: 01-09-2021 - 31-08-2024

Tipo: Nacional

Importe financiado: 88935,00 Euros.

  • iMarina

Smart Heaters

  • PEREIRO GARCÍA, JAVIER (Participante)
  • QUINTANA ARREGUI, PATXI XABIER (Investigador principal (IP))
  • OTON SANCHEZ, JOSE MANUEL (Participante)
  • CAÑO GARCIA, MANUEL (Participante)
  • GEDAY, MORTEN ANDREAS (Participante)
  • Clement Lorenzo, Marta (Participante)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Participante)
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Ejecución: 20-11-2020 - 19-11-2022

Tipo: Internacional

Importe financiado: 140000,00 Euros.

  • iMarina

CHARACTERIZATION OF AISCN SPUTTERED THIN FILMS

  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Colaborador/a)
  • Clement Lorenzo, Marta (Investigador principal (IP))

Ejecución: 23-01-2019 - 31-01-2021

Tipo: Interno

  • iMarina

Sensores gravimétricos de gases basados en resonadores electroacústicos de película delgada de AlN para aplicaciones en temperaturas extremas

  • MIREA, TEONA (Miembro del equipo de trabajo)
  • CARMONA CEJAS, JOSE MANUEL (Miembro del equipo de trabajo)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Investigador principal (IP))
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • MALO GOMEZ, JAVIER (Participante)
  • Clement Lorenzo, Marta (Participante)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Participante)
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Ejecución: 01-01-2018 - 30-09-2021

Tipo: Nacional

Importe financiado: 198440,00 Euros.

  • iMarina

Materiales avanzados para biosensores basados en resonadores piezoeléctricos combinados con nanotubos de carbono y grafeno

  • ESCOLANO MOYANO, JOSE MIGUEL (Miembro del equipo de trabajo)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Miembro del equipo de trabajo)
  • MIREA, TEONA (Miembro del equipo de trabajo)
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))
  • Clement Lorenzo, Marta (Investigador principal (IP))
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Participante)
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • MALO GOMEZ, JAVIER (Participante)
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Ejecución: 01-01-2014 - 31-10-2017

Tipo: Nacional

Importe financiado: 180018,37 Euros.

  • iMarina

Plataforma Multiplexada para el Diagnóstico de Enfermedades Cardiovasculares

  • Enrique Iborra Grau (Investigador principal (IP))
  • GEDAY, MORTEN ANDREAS (Miembro de equipo)

Ejecución: 01-01-2014 - 31-12-2014

Tipo: Nacional

Importe financiado: 15000,00 Euros.

  • iMarina

Rapid Aptamer based diagnostics for bacterial meningitis

  • GEDAY, MORTEN ANDREAS (Investigador principal (IP))
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Participante)
  • SANGRADOR GARCIA, JESUS (Participante)
  • Clement Lorenzo, Marta (Participante)
  • OTON SANCHEZ, JOSE MANUEL (Participante)
  • ESCOLANO MOYANO, JOSE MIGUEL (Participante)
  • QUINTANA ARREGUI, PATXI XABIER (Participante)
  • PEDRAZA DÍAZ, SUSANA (Participante)
  • IZPURA TORRES, JOSE IGNACIO (Participante)
  • OLIVARES ROZA, JIMENA (Participante)
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Ejecución: 01-07-2012 - 31-12-2015

Tipo: Internacional

Importe financiado: 1062578,28 Euros.

  • iMarina

Materiales multifuncionales en película delgada para dispositivos piezoeléctricos avanzados (resonadores acústicos y sensores MEMS)

  • Marta Clement Lorenzo (Investigador principal (IP))
  • MIREA, TEONA (Investigador/a)

Ejecución: 01-01-2011 - 31-12-2014

Tipo: Nacional

Importe financiado: 242000,00 Euros.

  • iMarina

CHARACTERIZATION OF SPUTTERED THIN FILMS OF AISCN

  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Investigador principal (IP))
  • Clement Lorenzo, Marta (Investigador principal (IP))

Ejecución: 26-06-2017 - 16-09-2019

Tipo: Interno

  • iMarina

High sensitivity biosensors based on shear mode AIN resonators for in liquid operation

  • Clement Lorenzo, Marta (Director)
  • IBORRA GRAU, ENRIQUE (Director) Doctorando: MIGUEL RAMOS, Mario de

1/1/2016

  • iMarina

DISPOSITIVO DE FILTRADO DE ONDAS ACÚSTICAS DE VOLUMEN

  • IBORRA GRAU ENRIQUE (Inventores/autores/obtentores)
  • CLEMENT LORENZO MARTA (Inventores/autores/obtentores)
  • OLIVARES ROZA JIMENA (Inventores/autores/obtentores)

5/4/2010

  • iMarina
Última actualización de los datos: 5/03/24 18:47